Исходные данные: Е = 10 В, δU+ = 1,5 В, δU- = 1,5 В, максимальная помехоустойчивость, минимальная площадь кристалла, марка кремния КДБ-10, минимальный технологический линейный размер на поверхности кремния Lмин=2 мкм, материал затвора - поликремний, Nss = 0.
Для заданной марки кремния по таблице определяем концентрацию примеси в подложке Nsubp = 1,2·1015см-3 и подвижности U0p = 520 см2/(В·с), U0n = 1120 см2/(В·с). [2]
Расчет ведется из условия равенства напряжений логических уровней по входу и выходу.
Геометрические размеры транзисторов практические влияют на выходные уровни "0” и “1”. В первом приближении можно считать, что
1 » E, а U0 » 0. (1)
Так как помехоустойчивость такой схемы максимальна, то определяем порог n-канального транзистора (VnTo) и порог p-канального транзистора (|VpTo |)
VTon = δU+ = 1,5 (В), VTop = δU- = - 1,5 (В) (2)
Максимальная помехоустойчивость достигается, когда UП = Е/2, и SН » SУ, причем необходимо, чтобы |δU+| + |δU-| ≤ E. UП = 5 В.
(3)
Так как А > 1, то длину и ширину канала рассчитываем по следующим формулам:
где Lmin = 2 мкм
Wmin = 3 мкм
Рассчитаем разность работ выхода затвор-подложка. Для этого необходимо вычислить потенциал уровня Ферми для подложки и затвора:
(4)
Где
φF - потециал уровня Ферми;
k - постоянная Больцмана, k=1,38×10-23Дж/К;
T - температура, T=300K;
q - заряд электрона, q=1,6×10-19Кл;
ni - собственная концентрация носителей, ni=1,45×1010см-3;
N - концентрация примеси в подложке.
Потенциал уровня Ферми для подложки и затвора:
Тогда разность работы выхода затвор-подложка равна:
По пороговому напряжению n-канального транзистора (Vton=0,5) и рассчитанным уровням Ферми и qЗП определяем удельную емкость Cox и толщину подзатворного диэлектрика Tox:
(5)
(6)
Используя рассчитанные длину и ширину канала из условия для максимальной помехозащищенности (UП = E/2), рассчитаем крутизну управляющего и нагрузочного транзистора:
(7)
(8)
Таким образом, мы нашли все параметры для n-канального транзистора. Теперь рассчитаем уровень легирования подложки (Nsub) для p-канального транзистора. Расчет будем проводить, решая транцендентное уравнение методом поразрядного приближения:
,(8)
В уравнении уровень Ферми и разность работ выхода затвор-подложка зависят от концентрации примеси. Решая это уравнение, получаем уровень легирования в подложке p-канального транзистора равным Nsubn = 2.61∙1015 см-3.
Читайте также
Разработка микропроцессорного контроллера для контроля ритма дыхания больного
В последнее время микропроцессорные средства
вычислительной технике стало широко применяться в приборах бытовой техники,
различных контрольно-измерительных устройствах, системах управлен ...
Модуль дистанционного запуска двигателя автомобиля
Назначение устройства - производить запуск
двигателя с помощью SMS сообщения.
Курсовая работа состоит из 5 частей:
В первой части работы на основе технического
задания описывается ...
Организация системы контроля доступа и видеонаблюдения в учреждении образования
Система
контроля доступа - это совокупность программно-технических средств и чётко
сформированной системы управления движением персонала и временем его нахождения
на объекте. Основными ...