Предварительный расчет полупроводникового диффузионного резистора

На начальном этапе конструирования определяется поверхностное сопротивление Rсл базовой области. Сначала определяем условную дозу легирования Qп, т.е. количество примеси, приходящееся на 1 см2 в пределах от 0 до Хб, где Хб - толщина базовой области, которая для диффузионных резисторов обычно лежит в пределах от 2.5 до 3.5 мкм. Мы же для начала возьмем толщину базы 3 мкм. Формула для вычисления Qп имеет вид:

Здесь N(x) - функция распределения примеси по глубине;

Q - полная доза легирования, установим ее значение 5.32*1014 см-2;

Dp и tp - соответственно коэф-т диффузии и время в процессе разгонки примеси (в нашем случае они соответственно равны 10-12 см2/с и 4000 с).

После замены переменных n и dх/(2×ÖDp tp) = dn приходим к выражению:

где erf v - функция ошибок, которая выбирается из таблицы:

n

erfc n

n

erfc n

n

erfc n

n

erfc n

0,0

1,00000

1,0

0,15730

2,0

0,00468

3,0

0,00002209

0,1

0,88754

1,1

0,11980

2,1

0,00298

3,1

0,00001165

0,2

0,77730

1,2

0,08969

2,2

0,00186

3,2

0,00000603

0,3

0,67137

1,3

0,06599

2,3

0,00114

3,3

0,00000306

0,4

0,57161

1,4

0,04772

2,4

0,00069

3,4

0,00000152

0,5

0,47950

1,5

0,03390

2,5

0,00041

3,5

0,000000743

0,6

0,39614

1,6

0,02365

2,6

0,00024

3,6

0,000000356

0,7

0,32220

1,7

0,01621

2,7

0,00013

3,7

0,000000167

0,8

0,25790

1,8

0,01091

2,8

0,00008

3,8

0,000000077

0,9

0,20309

1,9

0,00721

2,9

0,00004

3,9

0,000000035

Перейти на страницу: 1 2

Читайте также

Оптоэлектронные технологии
Оптоэлектроника - бурно развивающаяся область науки и техники. Многие ее достижения вошли в быт: индикаторы, дисплеи, лазерные видеопроигрыватели. Разрабатывается твердоте ...

Проектирование локальной вычислительной сети
Телекоммуникация и сетевые технологии являются в настоящее время той движущей силой, которая обеспечивает развитие мировой цивилизации. Практически нет области производственных и обществ ...

Применение пространственной фильтрации для улучшения радиоголографических изображений объектов, находящихся за препятствиями
В настоящее время активно развивается раздел науки, посвященный радиовидению. Это связано с тем, что радиовидение может найти свое применение в широкой сфере деятельности человека для об ...

Основные разделы

Все права защищены! (с)2025 - www.generallytech.ru