Предварительный расчет полупроводникового диффузионного резистора

На начальном этапе конструирования определяется поверхностное сопротивление Rсл базовой области. Сначала определяем условную дозу легирования Qп, т.е. количество примеси, приходящееся на 1 см2 в пределах от 0 до Хб, где Хб - толщина базовой области, которая для диффузионных резисторов обычно лежит в пределах от 2.5 до 3.5 мкм. Мы же для начала возьмем толщину базы 3 мкм. Формула для вычисления Qп имеет вид:

Здесь N(x) - функция распределения примеси по глубине;

Q - полная доза легирования, установим ее значение 5.32*1014 см-2;

Dp и tp - соответственно коэф-т диффузии и время в процессе разгонки примеси (в нашем случае они соответственно равны 10-12 см2/с и 4000 с).

После замены переменных n и dх/(2×ÖDp tp) = dn приходим к выражению:

где erf v - функция ошибок, которая выбирается из таблицы:

n

erfc n

n

erfc n

n

erfc n

n

erfc n

0,0

1,00000

1,0

0,15730

2,0

0,00468

3,0

0,00002209

0,1

0,88754

1,1

0,11980

2,1

0,00298

3,1

0,00001165

0,2

0,77730

1,2

0,08969

2,2

0,00186

3,2

0,00000603

0,3

0,67137

1,3

0,06599

2,3

0,00114

3,3

0,00000306

0,4

0,57161

1,4

0,04772

2,4

0,00069

3,4

0,00000152

0,5

0,47950

1,5

0,03390

2,5

0,00041

3,5

0,000000743

0,6

0,39614

1,6

0,02365

2,6

0,00024

3,6

0,000000356

0,7

0,32220

1,7

0,01621

2,7

0,00013

3,7

0,000000167

0,8

0,25790

1,8

0,01091

2,8

0,00008

3,8

0,000000077

0,9

0,20309

1,9

0,00721

2,9

0,00004

3,9

0,000000035

Перейти на страницу: 1 2

Читайте также

Модуль шестнадцатиразрядного двоичного реверсивного счетчика с параллельно-последовательным переносом, с предустановкой и выводом информации по два разряда, начиная с младшего
В настоящее время происходит компьютеризация практически во всех областях науки, техники, производства…Предпочтение отдается цифровым технологиям, которые считаются более продвинутыми и ...

Разработка лабораторного стенда Измерение опасных акустических сигналов
Для человека слух является вторым по информативности после зрения. Поэтому одним из довольно распространенных каналов утечки информации является акустический канал. В акустическом канал ...

Пример записи фильма в формате DVCAM
звуковой формат Цель данной работы показать работу в условиях записи фильма в формате Dvcam, записи зистового звука на HD-рекордер. Были выбраны 2 рассказа А.П. Чехова: "Кот" и ...

Основные разделы

Все права защищены! (с)2026 - www.generallytech.ru