Процесс формирования межсоединений в ИМС складывается из двух этапов - металлизации и фотолитографии по металлической пленке.
Металлизация - это нанесение на кремниевую пластину, на которой уже сформированы структуры, сплошной металлической пленки для получения качественных омических контактов с элементами ИМС, а также электропроводящего покрытия, надежно сцепляющегося с пленкой SiO2.
Фотолитография по металлической пленке обеспечивает требуемую конфигурацию проводников межсоединений, а также формирует по периферии кристалла контактные площадки, необходимые для присоединения ИМС к внешним выводам корпуса.
К металлу, используемому для этих целей, предъявляется ряд требований по проводимости, по технологичности при нанесении, коррозионной стойкости, адгезии к пленке SiO2 и другие требования.
Наиболее полно им отвечает высокочистый алюминий марки А99 (ГОСТ 11069 - 64), который мы и будем использовать для металлизации поверхности нашего резистора. Для этого необходимо применить метод термического вакуумного испарения из резистивных испарителей при температуре на пластине 200 - 400 ºС и невысоких скоростях осаждения (0 - 15 нм / с).
При фотолитографии по алюминиевой пленке будем также использовать негативный фоторезист.
Рис.16. Фотошаблон для фотолитографии по металлической пленке.
После фотолитографического процесса, с помощью которого формируют рисунок межсоединений, проводят вжигание контактов. Цель этой операции - повышение адгезии пленки за счет взаимодействия алюминия с изолирующим окислом:
SiO2 + Al → Al2O3 + Si
и внедрения алюминия в кремний через контактные окна.
Рекомендуемый режим вжигания - нагрев до температуры 550 ºС с выдержкой 5 - 10 мин.
Читайте также
Модуль шестнадцатиразрядного двоичного реверсивного счетчика с параллельно-последовательным переносом, с предустановкой и выводом информации по два разряда, начиная с младшего
В настоящее время происходит компьютеризация практически во всех областях
науки, техники, производства…Предпочтение отдается цифровым технологиям,
которые считаются более продвинутыми и ...
Применение системы автоматического проектирования на ИП Суслова
Почти
все крупные предприятия используют в своей работе возможности компьютерной
техники, в частности CAD, CAM, САЕ технологии, т.к. они предоставляют ряд
преимуществ, таких как ...
Программно-аппаратный комплекс, позволяющий проводить эксперименты по одновременному управлению несколькими мобильными объектами
В настоящее время в области искусственного интеллекта (ИИ) происходят
заметные преобразования. Источниками этих преобразований служат распределенный
искусственный интеллект (РИИ), центра ...